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多弧離子真空鍍膜機
真空鍍膜機中的真空管道、靜態(tài)密封零部件(法蘭、密封圈等)的結構形式,應符合相關規(guī)定。
在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應安裝真空測量規(guī)管,分別測量各部位的真空度。當發(fā)現(xiàn)電場對測量造成干擾時,應在測量口處安裝電場屏蔽裝置。
如果設備使用的主泵為擴散泵時,應在泵的進氣口一側裝設有油蒸捕集阱。
設備的鍍膜室應設有觀察窗,應設有擋板裝置。觀察窗應能觀察到沉積源的情況以及其他關鍵部位。
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