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磁控濺射鍍膜設備
在現有的真空鍍膜機中,安裝在鍍膜腔體中的加熱裝置多種多樣,現有的用于真空鍍膜的加熱裝置大多有加熱效率不高,不能減輕操作負擔、以及提高作業效率,受熱不均等問題。
提供一種真空鍍膜系統,本系統由真空鍍膜系統和真空手套箱系統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。
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