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了解下真空鍍膜機的真空室形變的檢測

  為盡量減小真空鍍膜機真空室形變帶來的影響,我們將導軌、絲桿等傳動件固定于一個剛性的中間層上,其與真空室底壁之間采用點、線、面活性支撐,以吸收和隔離形變,并設置形變補償調(diào)節(jié)機構(gòu),在系統(tǒng)抽真空前,參照有限元計算提供的理論數(shù)據(jù)預設適當?shù)难a償量,以使其在真空狀態(tài)下到平衡。而這樣的真空設計也使得現(xiàn)在的真空鍍膜機就能夠讓鍍膜在真空環(huán)境下正常進行,防止外界因素的影響。
  而為了驗證有限元計算的結(jié)果,對真空鍍膜機的真空室的形變和補償進行了測試。先將四只千分表定位在工作臺安裝基點的真空壁外側(cè),當真空室由大氣抽到真空時,記錄各千分表的變化量,經(jīng)歸一化處理后為用激光自準直儀調(diào)整形變補償。由水平調(diào)整的自準直儀發(fā)出一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定于工作臺上的反射鏡,在大氣環(huán)境下調(diào)整形變補償調(diào)節(jié)機構(gòu),使反射光束進入自準直儀接收視場,記錄兩維角度偏差。這些數(shù)據(jù)之后需要對其進行分析處理,得到測試結(jié)果。
2021/10/28 14:09:43 2660 次

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